Brooks-instrument Mfi Series Instrukcja Użytkownika Pobierz pdf (Strona 50)

4-12

Brooks

Mf Series

Section 4 Maintenance &

Troubleshooting

Installation and Operation Manual

X-TMF-Mfi-Mfx-MFC-eng

Part Number: 541B074AAG

August, 2009

Figure 4-3a Valve Adjusting Spacer Locations ( Normally Closed Valve )

1 2 ... 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 ... 81 82

Brak uwag

Brooks-instrument Mfi Series Instrukcja Użytkownika Strona 50